Vinnslunákvæmni CNC málmskurðarvéla hefur verið bætt frá upprunalegu vírstigi (0,01 mm) í míkronstig (0,001 mm) og sumar tegundir hafa náð um 0,05 μm. Fyrir ör-klippingu og slípun á ofur-nákvæmum CNC vélum getur nákvæmnin verið stöðug um 0,05μm og lögunnákvæmni getur náð um 0,01μm. Nákvæmni sérstakrar vinnslu með því að nota ljós, rafmagn, efna og aðra orkugjafa getur náð nanómetrastigi (0,001μm). Með hagræðingu á hönnun vélbúnaðar, ofur-frágangi og nákvæmri samsetningu vélahluta, notkun á mikilli-nákvæmni fullri-lokuðu-lykkjustýringu og kraftmikilli villujöfnunartækni eins og hitastigi og titringi, rúmfræðileg nákvæmni vinnslu véla er bætt, ójöfnuð og staðsetning yfirborðs o.s.frv. , til að ganga inn í tímabil undir-míkron og nanó-ofur-frágangar.
